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预公告-锁相红外显微镜

1.采购项目：锁相红外显微镜

2、关键技术要求：

用于检测电极短路、器件电阻异常、漏电与击穿、PCB与器件温度分布等；

采用中波制冷红外相机，像素大小≥640x512，热灵敏度≤25mK；

像素间距≤25µm，帧率≥100Hz，波长范围3-5µm；

锁相后热灵敏度≤0.1mK；

测温精度：±2℃或±2%取大；

物镜参数要求1倍镜下分辨率≤15µm，在高倍镜下分辨率≤2µm；

系统提供电动物镜转盘及至少三个镜头，包括可变焦广角镜头，1倍镜头和高倍镜头

1)       其中广角镜头可实现连续变焦，最大视野范围≥120mm*96mm,工作距离不低于50mm,分辨率≤200µm；

2)       1倍镜头视野范围≥9mm*7mm，工作距离不低于20mm；

3)       高倍镜头视野范围≥1.2mm*0.96mm，工作距离不低于10mm，最小检测功率≤1µW。

至少配备6位半源表1台，其中源表测量电压范围不小于115V，电流输出范围不低于1A；

配备有载物台或相机的电动运动系统，可以通过软件控制或摇杆进行操作，使样品台和相机之间在XYZ方向上相对移动，XY方向行程≥100mm，Z方向行程≥200mm；

要求配备8寸以上探针台，至少带3个探针座，并备有探针，能适应各种场景；

最大锁相调制频率不低于25Hz；

上位机软件界面清晰，操作稳定，并满足以下功能要求：

1)       设备控制功能：软件应能够对红外相机、样品台运动系统及激励装置等主要硬件进行统一控制，并支持测试参数设置、数据采集及实验过程监控；

2)       锁相热分析功能：软件应具备锁相热成像分析能力，可对周期激励条件下采集的红外信号进行锁相处理，并生成热幅度图和相位图等分析结果；

3)       图像处理与显示功能：软件应具备红外热图处理与显示能力，支持热图与可见光图像叠加显示，并具备基本图像增强与显示模式切换功能；

4)       动态热响应分析功能：软件应支持对被测样品通电后的热响应过程进行采集与分析，并能够对测试数据进行回放与观察；

5)       数据存储与导出功能：软件应支持测试数据及图像的存储与管理，并能够导出测试结果和相关数据文件；

其他功能：要求配备IV曲线测试，深度定位，时域重构，三点定位软件等功能。

有意向进行技术交流的潜在投标人可自本公告之日起10个工作日内，自2026年6月4日至2026年6月18日，每天（节假日除外）北京时间9:00-16:00时与以下业务联系人通过电话或邮件沟通交流。

业务联系人：戴老师

业务联系电话：

电子邮件：sfgsxjlcs@comac.cc

地址：上海市浦东新区上飞路919号